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壓阻式壓力變送器的原理

更新時間:2021-08-16瀏覽:1615次

壓阻式壓力變送器 

 單晶硅壓力/差壓變送器用于測量液體、氣體或蒸汽的液位、密度、壓力,然后將其轉(zhuǎn)變成4~20mA,Hart電流信號輸出,也可與HART-375或BST,Modem相互通信,通過他們進(jìn)行參數(shù)設(shè)定、過程控制。與傳統(tǒng)電接點(diǎn)壓力表的區(qū)別在于它使用的是納米單晶硅作為傳感器材料。 傳感器模塊采用全焊接技術(shù),內(nèi)部擁有一個整體化的過載膜片,一個壓力傳感器和一個溫度傳感器。溫度傳感器作為溫度補(bǔ)償?shù)膮⒖贾?。壓力傳感器的正壓?cè)與傳感器膜盒的高壓腔相連,傳感器的負(fù)壓側(cè)與傳感器膜盒的低壓腔相連,壓力通過隔離膜片和填充液,傳遞給傳感器內(nèi)的硅芯片,使壓力傳感器的芯片的阻值發(fā)生變化,從而導(dǎo)致檢測系統(tǒng)輸出電壓變化。該輸出電壓與壓力變化成正比,再由適配單元和放大器轉(zhuǎn)化成一標(biāo)準(zhǔn)化信號輸出。   

 

單晶硅壓阻式壓力傳感器工作原理 

 壓阻式壓力傳感器利用單晶硅的壓阻效應(yīng)而構(gòu)成。采用單晶硅片為彈性元件,在單晶硅膜片上利用集成電路的工藝,在單晶硅的特定方向擴(kuò)散一組等值電阻。并將電阻接成橋路,單晶硅片置于傳感器腔內(nèi)。 當(dāng)壓力發(fā)生變化時,單晶硅產(chǎn)生應(yīng)變,使直接擴(kuò)散在上面的應(yīng)變電阻產(chǎn)生與被測壓力成比例的變化,再由橋式電路獲得相應(yīng)的電壓輸出信號。 


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